半导体


发布日期:2018-08-23
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二十多年来,Setra精密压力传感器广泛应用于半导体行业的各个领域. Setra压力传感器遍及半导体工艺的通用气和特气GDS系统。这些气体用于半导体集成电路制造的方方面面。 

以高精度闻名于世的Setra压力传感器, 凭借同样优越的稳定性和可靠性,被广泛应用于以下场合:

> 现场过程压力测量


> 吹扫气体传输系统压力测量


> 传送室压力测量和控制


> 洁净室空气控制


> 泄漏检测


> 通风柜控制


> 激光干涉仪


> 太阳能等新能源